跨尺度微纳结构超分辨光学快速制造实验系统
仪器简介、开放共享及预约指南

一、仪器概况

本系统基于飞秒激光双光子直写、多焦点空间光场调控及超分辨光学制造技术，集微纳加工与在线检测于一体，可实现50 nm–5 mm跨尺度结构制造。系统支持二维/三维复杂结构、高通量并行加工、工艺参数优化及样品试制，适用于光刻胶、高分子聚合物、有机-无机杂化材料、无机量子点图案化及金属离子光还原加工。

二、主要技术指标

三、服务内容

提供微纳结构设计咨询、样品加工、工艺开发、参数优化、无机量子点图案化、金属光还原加工及样品试制。

四、收费标准

1. 常规微纳加工：500元/小时。

2. 复杂三维或多焦点并行加工：800元/小时。

3. 新材料工艺开发：1000元/小时。

4. 特殊耗材、专用基底及后处理费用据实收取；批量样品或长期合作可协商优惠。

五、预约办法

申请单位填写《仪器预约申请表》（见附件），发送至联系人电子邮箱。一般于24小时内回复预约审核结果，并根据设备安排确定加工时间。

联系人：张琛

电话：029-88303281

邮箱：nwuzchen@nwu.edu.cn

备用联系人：赵伟

邮箱：zwbayern@nwu.edu.cn